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产品描述
电真空设备
用途:
●对电子玻璃器皿进行高真空排气
●向已排气电子玻璃器皿充入规定压力的保护气体
●采用加热罩在真空排气时为电子玻璃器皿提供600℃的外部温度环境
●对工件进行氦质谱检漏
特点:
●粗抽系统采用干式真空泵抽空,抽空速度快,无油气污染。
●精抽系统采用低温泵作为排气泵,抽空速度快,无油气污染。
●抽真空、,真空度检测、温度检测、工件检漏全部自动完成。
●真空泵、低温泵、真空计等关键部件均选用日本等国外知名企业产品。
●PLC、触摸屏等控制器件均选用国外知名品牌。
●设备便于操作,可提供自动运行和手动操作两种工作模式;也可根据系统运行情况进行在线设置,对系统参数进行分级处理,提供密码保护。
●触摸屏能直接提供各种运行状态、真空度、报警内容等信息;并能提供历史数据,便于客户的质量追踪。
参数:
●温度控制范围:100-600℃
●升温速度:平均8~10℃/min
●真空泵抽速及极限真空:抽速2800L/S; 极限真空:10-7Pa
●充气压力范围:10Pa--105 Pa(可调)
●生产节拍:可同时处理40只工件
关键词:
真空设备
真空
进行
提供
系统
温度
玻璃器皿
电子
工件
排气
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